Ein konfokales Sputter-Deposition-System für die Ablagerung von hochwertigen supraleitenden Dünnfilmen

Contracting authority's reasons

Das gewählte Material entspricht zum jetzigen und voraussehbaren Zeitpunkt am ehesten unseren finanziellen Mitteln und Bedürfnissen (Sicherung der Investitionen) unter Berücksichtigung der schnellen Entwicklung der Anforderungen in der Forschung.

Description

Die EPFL beabsichtigt, ein konfokales Sputter-Deposition-System zu erwerben, das der Ablagerung von hochwertigen supraleitenden Dünnfilmen gewidmet ist. Das Gerät wird in der Reinraumplattform des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologie (EPFL CMi) untergebracht. Die Ausrüstung wird modernster Forschung über hoch-kinetische Induktanz-supraleitende Dünnfilme, insbesondere NbN, NbTiN, TiN und TaN, gewidmet sein. Hinsichtlich der Bedürfnisse der EPFL und der spezifischen wissenschaftlichen Zielsetzungen ihres Hybrid Quantum Circuits Labors wird der Schwerpunkt auf folgenden Forschungsbereichen liegen: • supraleitende Geräte, die für Quantenanwendungen entwickelt wurden, wie zum Beispiel optomechanische Geräte und Systeme der Quanten-Elektrodynamik.