Marchés publics suisses Adjudication
Marché adjugé

Système de dépôt en grappe de couches minces pour la pulvérisation de métaux et de diélectriques

Publication
7527-02
Publié le
2025-11-19
Procédure
Procédure ouverte
2’870’055Total CHF
6offres reçues
ZHCanton
Adjudication1 Anbieter
Evatec AG
2’870’055 CHF

Motivation de l'adjudicateur

Die Zuschlagsempfängerin hat die höchste Gesamtpunktzahl erreicht und konnte insbesondere in den vorteilhafteren Lebenszykluskosten und in der höheren technischen Reife der angebotenen Lösung überzeugen.

Description

Installation de revêtement en couche mince en cluster pour la pulvérisation de métaux et de diélectriques. Système en cluster avec un sas et 4 chambres de processus (PC) pour la pulvérisation DC et RF de diélectriques et de métaux sur des substrats semi-conducteurs et autres. Pour plus de détails, veuillez consulter notre spécification.

Amtliche Publikation: Projekt 7527 auf simap.ch ansehen — massgebend ist ausschliesslich die dortige Veröffentlichung.
Détails
AdjudicateurETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
LieuRüschlikon
CantonZürich
Type de marchéMarché de fournitures
CPV38000000
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser)
Accord internationalOui