Die Zuschlagsempfängerin hat die höchste Gesamtpunktzahl erreicht und konnte insbesondere in den vorteilhafteren Lebenszykluskosten und in der höheren technischen Reife der angebotenen Lösung überzeugen.
Thin-film cluster coating system for sputtering metals and dielectrics Cluster system with an airlock and 4 process chambers (PCs) for DC and RF sputtering of dielectrics and metals on semiconductors and other substrates. Please refer to our specification for details.
| Contracting authority | ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services |
|---|---|
| Place | Rüschlikon |
| Canton | Zürich |
| Contract type | Supply contract |
| CPV | 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser) |
| International treaty | Yes |